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              測量范圍600mm×500mm×400mm600mm×500×400mm500mm×400mm×300mm
              探測系統(tǒng)500kg500kg200kg
              分辨�單軸(4.0+L/200)μm空間(4.5+L/150)μm分辨�0.5μm測量速度(最大)300mm/S單軸�4.0+L/200)μm 空間�4.0+L/200)μm 分辨�0.5μm
              示值誤�Renishaw精密光柵系統(tǒng)Renishaw精密光柵系統(tǒng)Renishaw精密光柵系統(tǒng)
              探測誤差Renishaw測頭系統(tǒng)Renishaw測頭系統(tǒng)Renishaw測頭系統(tǒng)
              空間尺寸PC總線DSP三軸矢量控制系統(tǒng)
              最大符�直流伺服
              重量220V±10%\50/60Hz\500w220V±10% 50/60HZ 500W220V±10%\50/60Hz\500W
              電源(0.4-0.5)MPa(0.4-0.5)MPa
              溫度范圍100L/min(0.4MPa)100L/min (0.4MPa)
              氣源壓力600kg600kg550kg
              濕度1050mm×950mm×2300mm1050×950×2300mm100mm×950mm×2010mm
              控制系統(tǒng)溫度�20±2)℃
              �(qū)動系�(tǒng)
              軸承
              軟件配置
              氣源處理系統(tǒng)
               
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